振华科技申请带偏压输入的镀膜转架专利，转架能够在比较高温环境下保持正常转动运行

本文源自:市场资讯

国家知识产权局信息显示，广东振华科技股份有限公司申请一项名为“带偏压输入的镀膜转架”的专利，公开号CN120989567A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本发明公开了一种带偏压输入的镀膜转架，其采用“滚珠”结构代替轴承滑动，因为“滚珠”结构不需要精密，允许一定的变形量，故而转架能够在比较高温环境下保持正常转动运行；其次，通过转架衬板组件的设置，能够间接降低“滚珠”结构受温度的影响；并且，上衬板和下衬板之间的配合处形成有“迷宫式”通道结构，使得溅射粒子需要经过3次或者以上次数改动方向，才能到达重要零件表面，能够直接保护的转架系统与真空室之间的绝缘件，保证了偏压系统的稳定；再有，通过接触导电棒、导电棒连接座和压缩弹簧的组合结构，使得接触导电棒能够无间断地与公转齿轮保持良好滑动接触，使负电场无间断地传导到转架产品上，提高溅射的沉积速率，提高产能。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。