证券时报网讯，国海证券研报指出，先进制程及其配套产业链或将成为大基金三期的重点发力方向，半导体前道量检测设备目前国产化率仅个位数，电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障，未来有望加速发展。电子束检测设备国产化有望加速。建议关注：精测电子、中微公司、中科飞测等。
校对：李凌锋