华工科技：推出全自动晶圆激光退火智能装备、全自动晶圆激光改质切割智能装备以及量测先进装备整体解决方案

【华工科技：推出全自动晶圆激光退火智能装备、全自动晶圆激光改质切割智能装备以及量测先进装备整体解决方案】财联社6月6日电，华工科技在互动平台表示，公司围绕第三代半导体材料，专攻化合物半导体，积极布局量测设备的创新与优化，自主研发国产碳化硅衬底/外延片缺陷检测设备，确保产业体系的自主可控。近期在2024九峰山论坛暨中国国际化合物半导体产业博览会上，公司推出了全自动晶圆激光退火智能装备、全自动晶圆激光改质切割智能装备以及量测先进装备整体解决方案。