北方华创申请用于半导体工艺腔室的辅助控温装置专利，防止工艺套件温度过高或过低

本文源自:金融界

金融界2025年5月8日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“用于半导体工艺腔室的辅助控温装置及半导体工艺腔室”的专利，公开号CN119932512A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本发明提供一种用于半导体工艺腔室的辅助控温装置及半导体工艺腔室。所述辅助控温装置，包括：导热组件，用于与所述半导体工艺腔室固定连接，以与所述半导体工艺腔室内的工艺套件换热；冷却流道，设置在所述导热组件内，所述冷却流道用于通入冷却液，以冷却所述导热组件；加热组件，设置在所述导热组件内，用于加热所述导热组件。本发明的辅助控温装置通过设置导热组件并在导热组件内设置冷却流道和加热组件，可以通过冷却流道和加热组件调节导热组件的温度，使导热组件与工艺套件之间换热，实现调节工艺套件温度的目的，从而防止工艺套件的温度过高或过低，避免对晶圆产生影响，提高晶圆的产品质量。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1033次，财产线索方面有商标信息61条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。