北方华创申请半导体工艺设备及其控制方法专利，通过报警类型灵活进行容错控制保证产品质量和产能

本文源自:金融界

金融界2025年5月27日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及其控制方法”的专利，公开号CN120044897A，申请日期为2025年01月。

专利摘要显示，本发明提供了半导体工艺设备及其控制方法；其中，在半导体工艺设备执行工艺配方的每个工艺步骤过程中，若当前工艺步骤产生报警，确定报警类型；其中，工艺配方中配置有多个报警类型以及每个报警类型对应的容错控制操作，容错控制操作用于表征发生报警时，保证半导体工艺设备处于安全状态的补救措施；根据报警类型确定对应的目标容错控制操作，并控制半导体工艺设备按照目标容错控制操作运行，以对报警出现时的产品进行补救，从而通过报警类型灵活进行容错控制，保证了半导体工艺设备的产品质量和产能。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1049次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。