北方华创申请一种腔室升温监测方法及半导体工艺设备专利，提高工艺腔室升温过程监测结果的准确性

本文源自:金融界

金融界2025年6月17日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种腔室升温监测方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120164807A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本申请涉及半导体制造技术领域，提供了一种腔室升温监测方法及半导体工艺设备。方法包括：获取影响工艺腔室升温过程的相关变量的实时数据，以及获取工艺腔室中加热部件的实时温度实际值，其中，相关变量包括连续型变量和数字型变量，数字型变量包括工艺腔室的通水状态和控温模式；将相关变量的实时数据输入至预先训练得到的温度预测模型，通过温度预测模型输出加热部件的实时温度预测值，其中，温度预测模型基于加热部件的历史温度实际值和相关变量的历史数据训练得到；通过比较加热部件的实时温度实际值与加热部件的实时温度预测值，获得工艺腔室升温过程的实时监测结果，以提高工艺腔室升温过程监测结果的准确性。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1068次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。