北方华创申请承载装置的温度控制方法及半导体工艺设备专利，保证了承载装置的使用寿命

本文源自:金融界

金融界2025年6月17日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“承载装置的温度控制方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120164806A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明提供了承载装置的温度控制方法及半导体工艺设备；其中，该方法包括：对于承载装置的多个温区，计算任意相邻两个温区之间的温度差值，得到多个温差，将差不大于第一阈值，且，不小于第二阈值的温差确定为目标温差；对任一目标温差，控制目标温差对应的高温区的温度不再升高，并控制目标温差对应的低温区继续按照对应的初始目标温度进行加热，以降低目标温差至不大于第三阈值。上述控制方式中，通过控制目标温差的高温区温度不再升高，低温区继续加热，以降低目标温差，避免了相邻两个温区之间的温度差异较大，从而缓解了多个温区升温速率不一致的问题，进而避免了多个温区之间温度差异较大导致损坏承载装置，保证了承载装置的使用寿命。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1068次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。