北方华创申请半导体工艺设备专利，解决相关技术中下电极阻抗调节性差的问题

本文源自:金融界

金融界2025年6月18日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备”的专利，公开号CN120164770A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本申请公开了一种半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种半导体工艺设备，包括：工艺腔室、第一射频馈入件、第二射频馈入件、第一匹配器和阻抗可调装置；工艺腔室包括：腔体和承载装置，承载装置设于腔体内，第一射频馈入件的一端穿入腔体并与承载装置连接，第一射频馈入件的另一端穿入阻抗可调装置，第二射频馈入件的一端穿入阻抗可调装置并与第一射频馈入件的另一端滑动连接，第二射频馈入件的另一端与第一匹配器连接；阻抗可调装置连接于第一匹配器与腔体之间，用于调节第一匹配器与腔体之间的距离，以调节半导体工艺设备中下电极的阻抗。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1068次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。