北方华创申请立式热处理设备及其保温装置专利，提高晶圆表面沉积膜层的面内厚度均匀性

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“立式热处理设备及其保温装置”的专利，公开号CN 121006529 A，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本发明提供一种立式热处理设备及其保温装置，保温装置用于设置在立式热处理设备的工艺管的底部，并与立式热处理设备的进气部件连通，保温装置包括支撑结构和保温结构，保温结构设置在支撑结构的用于支撑晶舟的支撑面的下方且保温结构具有呈螺旋状的内部空间，内部空间分别与工艺管和进气部件连通，用于将进气部件输送的工艺气体输送至工艺管内。本发明提供的立式热处理设备及其保温装置，能够提高晶圆表面沉积膜层的面内厚度均匀性，从而能够改善半导体产品良率。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1251次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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