洁美科技：柔创纳米现阶段仍然以ALD在硅碳负极和固态电池材料领域为突破口
证券日报网讯 洁美科技5月6日在互动平台回答投资者提问时表示，柔创纳米现阶段仍然以ALD在硅碳负极和固态电池材料领域为突破口，未来将会围绕选择性原子层沉积与刻蚀技术与装备进行开发，有望应用在半导体方面。
（编辑 袁冠琳）
证券日报网讯 洁美科技5月6日在互动平台回答投资者提问时表示，柔创纳米现阶段仍然以ALD在硅碳负极和固态电池材料领域为突破口，未来将会围绕选择性原子层沉积与刻蚀技术与装备进行开发，有望应用在半导体方面。
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