（来源：科创100ETF基金）
光刻机板块异动拉升，新莱应材（300260）、炬光科技涨超10%，洪田股份（603800）、海立股份（600619）、旭光电子（600353）、晶方科技（603005）、凯美特气（002549）跟涨。