晶盛机电:首条12英寸碳化硅衬底加工中试线正式通线
人民财讯9月26日电,据晶盛机电消息,9月26日,首条12英寸碳化硅衬底加工中试线在晶盛机电子公司浙江晶瑞SuperSiC正式通线,至此,浙江晶瑞SuperSiC实现了从晶体生长、加工到检测环节的全线设备自主研发,100%国产化。
人民财讯9月26日电,据晶盛机电消息,9月26日,首条12英寸碳化硅衬底加工中试线在晶盛机电子公司浙江晶瑞SuperSiC正式通线,至此,浙江晶瑞SuperSiC实现了从晶体生长、加工到检测环节的全线设备自主研发,100%国产化。