苏大维格此“光刻机”非彼“光刻机”？深交所发关注函，还有多家公司回应

转自：证券日报网

本报记者 张敏 见习记者 熊悦

因在投资者互动平台一则有关光刻机销售的回复，股价昨日“20CM”直线涨停的苏大维格，随即在9月15日早间收到深交所下发的关注函。

9月14日午间，苏大维格在互动易回复投资者提问时表示“公司光刻机已实现向国内龙头芯片企业的销售，并已实现向日本、韩国、以色列等国家的出口；同时，公司向国内相关芯片光刻机厂商提供了定位光栅尺部件。”

同时提到，“公司已关注到纳米压印光刻在集成电路和芯片制造领域具备替代传统光刻的应用潜力，并在积极布局”。当日午间开盘后，公司股价大幅拉升并触及涨停。

货真价实还是文字游戏？

就此深交所发出多重提问，要求公司补充披露所生产光刻设备的具体类型、主要客户及下游用途、以及最近一年一期境内外销售情况，核实说明公司光刻设备是否能够直接用于芯片研发及制造、主要技术参数是否与业内龙头厂商存在较大差距。

同时，就公司提到的纳米压印光刻，深交所要求公司详细说明纳米压印技术的具体用途、研发情况，以及在集成电路领域的布局情况；以及公司光刻设备相关产品的市场占有率及占主要客户同类产品采购的份额等，进一步分析说明前述产品对公司业绩是否具有重大影响；是否存在主动迎合市场热点炒作公司股价、配合相关股东减持的情形等。

据公司介绍，目前大规模批量制造芯片用光刻机主要包括DUV深紫外光刻机、EUV极紫外光刻机等，这类光刻机技术工艺和材料难度极高，公司目前不涉及此类光刻机的整机制造。“目前公司对外销售的主要是激光直写光刻机。”公司在前述互动易回复投资者提问时表示。

尽管公司称，销售的激光直写光刻机产品，不同于批量制造芯片所用的DUV深紫外光刻机、EUV极紫外光刻机等，但公司进一步表示，“DUV和EUV在生产芯片过程中使用的掩模板，需要直写光刻机机型进行制造，包括激光直写光刻机和电子束光刻机。”除掩模板外，激光直写光刻机也可广泛用于微纳光学材料、MEMS产品、射频器件、滤波器件、光子芯片等制造。

实际上，公司在2022年年报中也提到过相关光刻设备实现向国内芯片企业的销售这一情况，但其所指为“直写光刻设备”。公司在年报中如此表示：“公司直写光刻设备已出货日本、韩国、以色列等国内外知名高校和科研院所，在科研光刻设备领域占有一定的市场份额，并实现向国内芯片企业的销售。”

苏大维格还在去年年报中提到，公司能提供应用于IC芯片投影式光刻机的核心部件定位光栅尺产品；此外，公司也在积极拓展投影掩模式光刻机设备在太阳能光伏电池铜电镀方案图形化领域、以及直写光刻在芯片掩模板和IC载板等领域的应用。

资料显示，苏大维格研发和生产的高端智能装备包括直写光刻、3D光刻、投影/扫描光刻、纳米压印光刻设备等。

多家上市公司回应

一位关注科技领域的专业人士告诉《证券日报》记者，最近华为新品推出后，带动了光刻机的热度。该公司的直写光刻机产品并不完全等同于普遍认知的制造芯片的光刻机，而是芯片光刻机涉及到的部分配件要使用到该公司的相关产品来制造。

近期，光刻机板块市场热度不减，投资者关注度较高，诸多上市公司集中回应了投资者对光刻机相关产品的提问。

威尔高于9月15日在投资者互动平台表示，公司产品暂未涉及光刻机和芯片领域公司会持续关注该领域的未来发展。

高盟新材于9月14日在投资者互动平台表示，公司业务没有涉及光刻机，但公司投资参股了光刻胶项目公司，其中，公司参股北京科华微电子材料有限公司比例为3.67%，参股北京鼎材科技有限公司比例为1.39%，北京科华是国内半导体用光刻胶领域的头部企业，北京鼎材是OLED发光材料和面板显示光刻胶领域的优秀企业。

天瑞仪器于9月14日在投资者互动平台表示，公司的产品没有用到光刻机。此外，电科数字于9月14日在投资者互动平台表示，公司为某半导体装备生产商提供光刻机的控制模块。

IPG中国首席经济学家柏文喜表示，近期光刻机板块热度较高，但投资者需保持理性，充分了解行业和公司的情况，注重风险控制，以长期投资的视角来进行投资决策。

（编辑 才山丹）