东华测试申请栅形变面积式加速度计及其频响特性优化设计方法专利，提高灵敏度

本文源自:金融界

金融界2025年6月11日消息，国家知识产权局信息显示，江苏东华测试技术股份有限公司申请一项名为“一种栅形变面积式加速度计及其频响特性优化设计方法”的专利，公开号CN120121865A，申请日期为2025年02月。

专利摘要显示，本发明公开了一种栅形变面积式加速度计及其频响特性优化设计方法。本发明的栅形变面积式加速度计，包括固定壳体、固定栅形硅电极一、栅形硅电极二，所述固定壳体内的上下两端通过对称设置的U型弹性梁连接惯性质量块，在惯性质量块中间制作有栅形硅电极，形成可动电极；所述惯性质量块沿着其加速度敏感方向分为对称的上、下部分和中间部分，其中上、下部分和中间部分的键合区边缘采用梳齿结构使得加速度计内部存在滑膜空气阻尼和压膜空气阻尼；所述惯性质量块的中间部分结构上设计圆孔阵列，在不改变惯性质量块的尺寸和阻尼的情况下降低其重量，使得加速度计的灵敏度提高；本发明能够在不改变极板面积的条件下设计和调节加速度计的阻尼，提高灵敏度和频率响应范围。

天眼查资料显示，江苏东华测试技术股份有限公司，成立于1993年，位于泰州市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本13832.0201万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏东华测试技术股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目2208次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息63条，此外企业还拥有行政许可15个。