赛微电子：MEMS工艺可支持制造部分纳米级特征的微电机

本文源自:金融界

金融界6月30日消息，有投资者在互动平台向赛微电子提问：据说钙钛矿技术取得最新突破，请问贵公司MEMS工艺是否可以制作MEMS微型纳米电机？

公司回答表示：您好，公司的MEMS产品线宽为微米级；严格意义上的“纳米电机”（所有关键特征尺寸均在100纳米以下）主要使用NEMS技术制造，而非标准的MEMS工艺。我司掌握的MEMS工艺可以根据客户需求支持制造部分纳米级特征的微电机。谢谢关注！