赛微电子：参股子公司瑞典Silex此前已实现MEMS-OCS的量产

证券日报网讯 赛微电子11月12日在互动平台回答投资者提问时表示，公司参股子公司瑞典Silex此前已实现MEMS-OCS的量产。公司控股子公司北京Fab3此前已实现MEMS-OCS的风险试产。MEMS-OCS是一组由指定数量平面镜所构成的微镜阵列，可用于精确调节光链路的折射方向，实现光链路之间的信号切换与双向传播，提高运算系统的整体性能及稳定性，同时降低系统成本与功耗，可在数据中心网络、超算系统集群等场景中得到广泛应用。MEMS-OCS的技术壁垒高，结构复杂精密，核心在于其精巧的驱动机制，在制造工艺方面，MEMS光开关采用了一系列先进的微加工技术，如光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀和晶片键合等。MEMS-OCS的开发涉及光学、机械、电子、热学多领域知识，需要在光路损耗、切换速度、机械稳定性之间取得平衡。同时，大规模NxN阵列的设计与控制，对信号同步要求高，需保证在数百万次机械动作中稳定可靠。MEMS-OCS的晶圆加工、表面镀膜、微机械结构释放等工序均必须高度精准、批次稳定，其任何微小瑕疵，都可能在生产中被放大为良率下降的隐患。MEMS-OCS的结构复杂精密，工艺技术壁垒较高。

（编辑 王雪儿）