【华安证券·通用设备】精测电子（300567）：检测设备领军企业，半导体前后道量检测设备持续突破

（来源：华安证券研究）

检测设备领军企业，实现多领域布局

精测电子专注于显示、半导体及新能源检测系统的研发、生产与销售。公司成立以来深研平板显示器件生产过程中的光学、信号、电气性能等各种功能检测技术，2017年向半导体、新能源行业的检测领域开拓，半导体量检测设备涵盖前道和后道测试设备，新能源设备主要为锂电池生产及检测设备。2016-2022年公司营收持续增长，年复合增长率超过18%，2023年受终端消费需求疲软等不利因素影响公司营收出现下滑，2024年有所修复，2024年H1营收为11.2亿，同比提升0.96%；归母净利润0.5亿元，同比增长312%。

半导体前后道量检测领域设备不断突破

随着芯片集成度不断提高，半导体量检测设备对于芯片制造的良率尤为重要，量测设备的需求量将倍增。我国半导体检测与量测设备市场规模2023年达到42.3亿美元，2016年到2023年年均复合增长率为29.3%，增速显著高于全球市场。我国半导体量检测设备市场国产替代空间广阔，根据VLSI Research2020年的统计，前五大公司合计份额超84.1%，均来自美国和日本，我国半导体量测检测设备国产化率约为2%。

截至2024年上半年，公司半导体设备在手订单约17.67亿元。公司布局半导体前道量测检测设备和后道电测检测设备，在光学和电子束技术不断突破；收购及设立并举，迅速把握行业机会，核心产品已覆盖1xnm 及以上先进制程，通过增资湖北江城实验室科技服务有限公司对先进封装技术进行战略布局。

显示领域检测优势显著，产品布局不断丰富

根据CINNO Research数据，中国大陆显示行业检测设备市场规模将从2021年的59亿元提升到2024年的92亿元，3年CAGR达16%。新型显示器件检测设备国产替代趋势明确。我国显示行业检测设备已经实现了部分国产化突破，在一些制程中仍有国产化空间，以AMOLED检测设备为例，中国大陆本土厂商实现了Cell/Module制程段的主导，但国外厂商仍主导Array制程段。

随着产品线的丰富，公司面板检测业务近年来整体上保持增长的趋势，近两年随着行业周期略有调整，2024年上半年收入7.76亿元，同比增长5%，韧性显现。公司在Module 制程检测系统的产品技术已处于行业领先水平，并成功实现了部分Array 制程和Cell 制程产品的开发和规模销售；在新型显示领域，公司在AR/VR/MR、Micro-OLED等相关检测、调试设备产品持续发力，把握行业新兴趋势；在仪器仪表方面，公司主力产品已经突破国外垄断，获得较大规模销售。

新能源领域把握核心战略客户，积极海外拓展

新能源检测领域公司通过内外两个方向进行业务拓展，提升公司在新能源行业的核心竞争力：1）持续研发投入，主要用于开拓锂离子电池关键先进制程设备。2）加强人员培训，优化调整组织结构及流程提升内生动力等。3）加强与核心战略客户中创新航在锂电设备领域的深度合作。4）在新能源领域实施走向海外战略布局已取得实质性进展，海外客户拓展成效显著。

1）半导体检测设备研发及推广不及预期的风险。2）面板行业周期性波动及客户较为集中的风险。3）新能源行业扩产不及预期及海外拓展进度不及预期的风险。4）行业竞争加剧及关键技术和人才流失风险。5）研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。

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检测设备领军企业，实现多领域布局

1.1多功能一体化检测设备领军企业，实现多领域布局

精测电子专注于显示、半导体及新能源检测系统的研发、生产与销售。公司成立以来，深研于平板显示器件生产过程中的光学、信号、电气性能等各种功能检测技术。公司2017年向半导体、新能源行业的检测领域开拓，在相关设备产品和技术实现全面突破：公司半导体量检测设备包括前道和后道测试设备；新能源设备主要为锂电池生产及检测设备。

公司股权结构较为稳定，子公司领域协同发展。截至2024年半年报，公司前十大股东股权比例46.74%。实际控制人为彭骞，担任精测电子董事长、总经理，直接持有公司25.48%股份，为第一大自然人股东。公司副董事长陈凯是第二大自然人股东，持有公司8.2%股份。公司拥有 10 家全资子（孙）公司，15 家控股子（孙）公司，20 家参股公司及4家分公司，涉及平板显示、半导体、新能源三大检测领域。上海精测、上海精积微等子公司主要负责半导体检测领域；常州精测、武汉精能等子公司负责新能源领域设备的研发、生产与销售；武汉精立、武汉精毅通等子公司负责平板显示领域业务，覆盖国内各主要面板、模组厂商的各类主要检测系统。

管理层从业经验丰富，股权激励绑定核心团队成员。公司董事长彭骞拥有多年业内工作和管理经验，是一位杰出的管理营销型企业家。其余多位董事具备较强的专业背景以及研发相关的从业经验，分别在天马微电子、烽火通信等公司从事过研发工程师。公司不断对高管及核心人员加码进行股权激励，同时设立员工持股平台，为公司可持续发展注入活力。

1.2半导体、显示、新能源检测多维布局

公司成立以来，多年专注于平板显示检测系统和设备，横向切入半导体与新能源领域的检测业务。

平板显示检测领域：公司产品涵盖 LCD、OLED、Mini-LED、Micro-OLED、Micro-LED 等各类显示器件的检测设备，包括电测及调试系统设备、前制程外观形貌AOI 设备、自动化装备集成产品、微显示缺陷检测、AR/VR 组件检测及制程设备、AI 检测软件与系统、智能和精密光学仪器等。从生产制程来看，目前产品全面覆盖Module制程的检测系统，实现部分Array和Cell制程产品的研发和销售，成为行业内少数能够提供平板显示三大制程检测系的领跑企业。

半导体检测领域：公司是国内半导体检测设备领域领军企业之一，重点聚焦于半导体的光学检测和电子光学检测两大方向，已基本形成在半导体检测前道、后道全领域的布局，产品包括膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统、半导体硅片应力测量设备、明场光学缺陷检测设备和自动检测设备（ATE）等，广泛应用于硅片加工、晶圆制造、科研实验室、第三代半导体四大领域。

新能源检测领域：公司主要产品为锂电池生产及检测设备，主要用于锂电池电芯装配和检测环节等，包括锂电池化成分容系统、切叠一体机和 BMS 检测系统等。公司掌握双目视觉对位与纠偏技术、卷材收/放卷张力控制技术、基于网络的分布式存储与分布式事件处理系统以及双向大电流电源充放电技术等多个核心技术，成功开发了化成分容等在行业内具有一定影响力的产品。

公司客户多为知名的平板显示厂商、集成电路厂商和锂电池厂商。公司半导体检测设备已取得国内多家客户的批量订单，不断致力于满足客户产线以及实现国产化替代的技术产品。在平板显示检测领域，公司与国内各主要面板、模组厂商深度合作绑定，微型显示检测设备与全球顶尖客户达成合作并已完成部分交付。公司在新能源领域积极开拓与国内外知名电池厂商市场，向海外战略布局已取得实质性进展。

精测主营业务收入结构稳定，以显示业务为根基，半导体和新能源业务逐步放量。公司主要收入来源为平板显示检测业务，占比略有下降，到2024年上半年仍占69%。半导体检测的业务规模快速增长，2024年上半年实现营收2.3亿元，同比增长86%，营收占比持续提升至20%；受市场竞争加剧和技术磨合期等因素影响，2024年上半年新能源业务营收为0.94亿元，同比下滑60%，营收占比为8%。分业务来看，显示、半导体和新能源2024年上半年毛利率分别为44.3%/42.4%/32.2%。

1.3公司盈利能力稳健，高研发投入提高产品技术水平

公司盈利能力稳健，毛利率维持较高水平。从营业收入来看，2016-2022年公司营收持续增长，年复合增长率超过18%，2023年受终端消费需求疲软以及显示行业仍未走出周期性底部等不利因素影响，公司营收出现下滑，净利润则受半导体和新能源行业的投入有所下滑，有望随着新行业放量和显示行业修复稳步提升。2024年H1营收为11.2亿，同比提升0.96%；归母净利润0.5亿元，同比增长312%。公司通过不断优化产品结构，公司总体毛利率保持稳定向上，2024年H1公司毛利率为43%，总体毛利率维持在40%以上；归母净利率4%，受研发投入等影响存在一定波动。

研发投入持续加大。2023年公司研发投入再创历史新高，研发投入高达6.6亿，同比增长11.9%。公司目前在半导体、新能源领域的新业务仍处于高投入期，2024年上半年研发投入为3亿，同比增长2.6%。同时，公司累计获得授权专利2,404项（其中1,069项发明专利，940项实用新型专利，395项外观专利）、341项软件著作权、86项软件产品登记证书、76项商标（其中国际商标 28 项）。

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半导体前后道量检测领域设备不断突破

2.1 半导体检测设备是芯片制造的“尺子”

贯穿于集成电路领域生产过程的质量控制环节可分为前道检测、中道检测和后道测试，其中前道检测主要是针对光刻、刻蚀、薄膜沉积、清洗、CMP等每个工艺环节的质量控制的检测；中道检测面向先进封装环节，主要为针对重布线结构、凸点与硅通孔等环节的质量控制；后道测试主要是利用电学对芯片进行功能和电参数测试，主要包括晶圆测试和成品测试两个环节。根据Gartner数据显示，半导体设备投资中前道工艺设备占70%～80%，其中工艺控制设备占11%；后道封装测试占18%～20%，其中测试设备占55%-60%。

随着芯片集成度不断提高，半导体量检测设备对于芯片制造的良率尤为重要，量测设备的需求量将倍增。根据YOLE的统计，工艺节点每缩减一代，工艺中产生的致命缺陷数量会增加50%。当制造芯片的工序超过500道时，要保证每一道工序的良率都超过99.99%，最终芯片产品的良率才会超过95%；假设单道工序的良率下降到99.98%，最终芯片产品的良率约下降至90%。根据VLSI数据统计，2023年全球半导体量测设备市场规模达到128.3亿美元，同比增长1.6%，2016到2023年的年均复合增长率为15.2%。中国大陆半导体检测与量测设备市场规模2023年达到42.3亿美元，2016年到2023年年均复合增长率为29.3%，增速显著高于全球市场。

根据检测类型的不同，应用于前道制程和先进封装的量检测设备可分为量测设备和检测设备。检测指在晶圆表面上或电路结构中，检测其是否出现异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷。根据VLSI数据，2023年检测设备占比为67.9%，包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、掩膜检测设备等。量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。量测设备占比为30.8%，包括三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备（晶圆介质薄膜量测设备）、套刻精度量测设备、关键尺寸量测设备、掩膜量测设备等。

检量测设备涉及光学检测、电子束检测和X光量测三大类检测技术，三种技术的区别主要在于检测精度、检测速度及应用场景上。光学检测技术在量检测设备中应用占比最高，非接触检测的模式对晶圆的损伤小，能进行大批量快速检测，具有快速、无损伤和高精度等特点。电子束检测技术的检测速度相对低，但电子束的波长较长，精度更高，适合用于部分关键区域的表面尺度量测和部分关键区域的抽检等。X光量测技术的穿透性强，主要为特定金属成分测量和超薄膜测量等特定领域。根据VLSI Research报告，2020 年全球半导体检测和量测设备市场中，应用光学检测技术、电子束检测技术及 X 光量测技术的设备市场份额占比分别为 75.2%、18.7%和2.2%。

我国量检测设备国产化率低，国产替代空间广阔。根据VLSI数据统计，全球检测和量测设备市场呈现国外设备企业垄断的格局，主要企业包括科磊半导体、应用材料、日立等，其中科磊半导体一家独大，2023年科磊半导体在检测与量测设备的合计市场份额占比为55.8%。在我国半导体量检测设备市场中，根据VLSI Research2020年的统计，全球前五大公司合计市场份额占比超过了84.1%，均来自美国和日本，科磊半导体市占率最高为54.8%。2020年我国半导体量测检测设备国产化率约为2%，国产设备主要参与者为上海睿励、上海精测、中科飞测等。

2.2切入半导体检测领域，前后道全领域完成布局

公司半导体检测业务持续研发，订单以及销售收入持续增长。随着公司技术水平的不断提高、产品成熟度以及市场对公司产品的认可度不断提升，2019-2023年半导体板块销售收入复合增长率为202.6%，2024年上半年半导体板块收入22,829.19万元，较上年同期增长 86.17%。截至2024年上半年，公司半导体设备在手订单约17.67亿元。在研发方面，公司继续加大在半导体检测设备上的研发投入，2024年上半年公司半导体检测领域研发投入13,388.09万元，较上年增长31.29%，占研发投入44%，通过公司持续的研发投入，半导体检测业务预计将继续成为公司业绩增长的重要引擎。

产品布局丰富，前道+后道/光学+电子束覆盖。1）公司布局半导体前道量测检测设备和后道电测检测设备：在半导体单/双模块膜厚测量设备、高性能膜厚及OCD 测量设备、半导体硅片应力测量设备、FIB-SEM 双束系统、全自动晶圆缺陷复查设备、明场光学缺陷检测设备、DRAM RDBI 测试设备、CP/FT ATE 设备等方面积累了大量经验。2）公司在光学和电子束技术不断突破：在光学领域自主开发针对集成电路微细结构及变化的OCD测量、基于人工智能深度学习的OCD 人机交互简便易用三维半导体结构建模软件等核心技术，在电子束领域自主开发了半导体制程工艺缺陷全自动检测、晶圆缺陷自动识别与分类等核心技术，填补了国内空白。

收购及设立并举，迅速把握行业机会。公司顺应半导体市场制程越来越先进、工艺环节不断增加的发展趋势，对公司半导体检测设备进行技术迭代，核心产品已覆盖1xnm 及以上制程，先进制程的膜厚产品、OCD设备以及电子束缺陷复查设备已取得头部客户订单。同时，为了抓住数据中心、超算、AI 等行业快速发展对高性能芯片带来的强劲需求，公司积极对先进封装技术进行战略布局，通过增资湖北江城实验室科技服务有限公司，深化与核心客户的战略合作与绑定。

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显示领域检测优势显著，产品布局不断丰富

3.1新型显示面板空间广阔，设备国产替代进行中

显示技术不断迭代，新技术带来行业新增量。显示面板行业目前最主流技术为TFT-LCD和AMOLED显示技术。TFT-LCD面板作为传统显示技术，利用工艺成熟，成本低廉，长期保持市场份额，受下游厂商的库存周期影响较大，但也在新技术加持下不断提升显示性能。AMOLED已成为手机品牌旗舰机和中高端机标配，在TV端出货占比也在持续提升，Omdia预计到2027年全球OLED显示面板市场规模将增长到560亿美元，2022-2027年CAGR达6%。此外，Mini LED、Micro LED、激光显示、微显示等技术进展迅速。以Mini LED为例，根据Research Dive市场研究机构数据，2021年全球Mini LED市场规模约为4.11亿美元，预计到2030年将会增长至109.31亿美元，年均复合增速达到44.48%。

我国显示行业地位显著，新技术产能扩充加速。我国大陆地区显示产业已实现TFT-LCD全球领先， 且AMOLED的产能占比也超过50%，截至2022年11月，中国大陆已建成年产能TFT-LCD 2.34亿平方米和AMOLED0.17亿平方米。我国新型显示产业凭借庞大的TFT-LCD面板产能和不断提升的上游材料国产化供给能力，产业规模从2012年度的740亿元持续增长至2022年度的4,933亿元，年复合增长率达到16%，产业规模全球占比36%，继续位居全球第一。且我国在8.5代及以上高世代OLED产线、mini/micro led等新型显示产业发展重点趋势上产能扩充步伐加速，将带来国内新型显示产业的持续发展动力。

检测设备贯穿显示设备制造流程，显示技术的变化带来检测设备的要求提升。新型显示行业检测设备主要包括Array制程光学检测设备、Array制程电性及其他检测设备，Cell/Module自动制程光学检测设备、Cell/Module老化、触控及其他检测设备。根据OLED Industry，Array/Cell/Module三制程在面板产线设备投资占比分别约75%/20%/5%，其中根据未来智库，Array/Cell/Module段检测设备占各自段总设备投资额的20%/13%/17%。新型显示技术伴随着显示器件的发展，呈现出更先进、工艺更复杂、集成度与精细化程度更高的特点，伴随而来的良率问题对检测设备提出了新的挑战，推动检测设备的自动化、集成化发展趋势。

我国新型显示行业检测设备市场空间广阔。CINNO Research统计数据显示，2021年中国大陆新型显示行业设备市场规模达1,100亿元，其中，AMOLED 设备占比约55%，Mini LED/Micro LED占比24%，TFT-LCD占比21%。预测2024年AMOLED设备随着高世代线新的一波建厂周期，市场规模将在2024年到达约866亿元，2025年Mini LED/Micro LED行业设备市场规模将达270亿元。中国大陆显示行业检测设备市场规模也将从2021年的59亿元提升到2024年的92亿元，3年CAGR达16%，其中Cell/Module制程光学检测设备市场规模在2024年也将达到26亿元。

新型显示器件检测设备国产替代趋势明确。我国显示行业检测设备已经实现了部分国产化突破，在一些制程中仍有国产化空间，以AMOLED检测设备为例，中国大陆本土厂商实现了Cell/Module制程段的主导，但国外厂商仍主导Array制程段。CINNO Research统计数据显示，在Cell/Module制程段，通过中国大陆检测设备商华兴源创、精测电子、精智达、凌云光等企业的不断发展努力，大部分产品已实现国产化供货，2021年销售额前三位分别为华兴源创、精测电子和精智达，CR3达68%。Array制程段，2021年中国大陆检测设备厂商销售额前三位分别为HB Tech、Yang Electronic和DIT，CR3达46%，国产化率仅约为8%，主要以精测电子等本土设备商为代表。在国内新型显示器件生产厂商持续大规模投资及升级面板生产线的影响下，我国新型显示器件检测设备的国产化替代趋势明显。

3.2公司显示业务优质，向前道&仪器方向拓展

显示业务布局丰富，韧性显现。随着产品线的丰富，公司面板检测业务近年来整体上保持增长的趋势，近两年随着行业周期略有调整，2024年上半年收入7.76亿元，同比增长5%，韧性显现。在显示设备分项中，OLED检测系统、AOI 光学检测系统、信号扩展检测系统收入等占比相对较高。AOI 光学检测系统营收由2016年的2.14亿元上升到2021年的8.93亿元，占比由40.92%下降到37.08%；OLED检测系统营收由2016年的0.02亿元上升到2021年的8.09亿元，占比由0.33%上升到33.57%；信号扩展检测系统营收由2016年的0.07亿元上升到2021年的2.95亿元，占比由1.43%上升到12.24%。

创新驱动，公司显示检测设备突破新方向带来持续动能。

1）从生产制程来看，公司在Module 制程检测系统的产品技术已处于行业领先水平，技术优势明显；Cell制程检测系统的市场份额之前主要被日本、韩国和台湾地区企业占据，随着公司近年的不断投入及发展，产品完全覆盖Cell 制程；Array 制程检测系统的市场份额主要被日本企业占据，公司已通过技术积累开始涉足，部分产品亦已完成开发并实现了批量销售。

2）在新型显示领域，公司在AR/VR/MR 、Micro-OLED、光模块、Eyepiece等相关检测、调试设备产品持续发力，把握行业新兴趋势，巩固公司在显示检测领域的领先性。

3）在仪器仪表方面，公司主力产品已经突破国外垄断，获得较大规模销售，2023年销量达到62万套。

募投项目关注高端&新兴显示检测设备。公司自上市以来，4次募资均涉及显示方向投资，其中2021年定增投向Micro-LED显示全制程设备，2023年可转债募投项目由全资子公司武汉精立建设高端显示用电子检测系统生产基地，进一步完善在中大尺寸OLED和Mini/Micro-LED等领域的关键产品布局。

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新能源领域把握核心战略客户，积极海外拓展

新能源领域生产和检测设备并行，受行业波动处于调整期。公司在新能源领域的主要产品为锂电池生产及检测设备，主要用于锂电池电芯装配和检测环节等，包括锂电池化成分容系统、切叠一体机和BMS 检测系统等。在经历了2020年和2022年的快速增长后，受收入结构变动、市场竞争加剧、动力锂电设备技术工艺尚处于磨合期等因素影响，客户整体验收节奏放缓，2024年上半年公司在新能源领域实现销售收入9,404.06 万元，较上年同比下降59.83%，毛利率稳定在30%以上。截至2024年6月30日，公司在新能源领域在手订单约6.37 亿元。

新能源检测领域，公司通过内部的创新研发和组织优化，外部把握核心客户，拓展海外市场，内外两个方向进行业务拓展，提升公司在新能源行业的核心竞争力：

1）2023年新能源领域研发投入8,739.92 万元，较上年增长51.92%，2024年上半年投入3,163.87 万元，研发投入方向主要用于开拓锂离子电池关键先进制程设备。

2）公司通过加强人员培训，优化调整组织结构及流程提升内生动力等多种举措，进一步提升公司核心竞争力。

3）公司进一步加强与核心战略客户中创新航在锂电设备领域的深度合作。公司与中创新航签署《战略合作伙伴协议》，确定公司为其锂电设备的优选合作商，在锂电设备领域开展深度合作，共同研发迭代产品，提升双方产业竞争力；公司控股子公司常州精测参与中创新航港股发行，进一步巩固、深化双方战略合作关系。

4）公司正积极开拓与国内外知名电池厂商的合作关系，特别是海外核心客户的合作关系，公司在新能源领域实施走向海外战略布局已取得实质性进展，海外客户拓展成效显著。

5.1 基本假设与营业收入预测

基本假设：

一、显示行业

考虑新型显示的发展带来公司订单增长，且公司仪器仪表行业稳步推进，我们假设公司显示方向收入提升，并在25年增速提升。毛利率方面随着下游盈利水平修复，且新型显示产品盈利性更高，我们假设显示行业公司的毛利率稳定增长。

二、半导体行业

考虑公司半导体先进制程设备的订单和验收持续推进，且关键产品如明场检测设备不断推进，我们假设半导体方向持续放量，高附加值产品占比提升，毛利率持续提升。

三、新能源行业

公司新能源行业设备受下游锂电行业景气度影响，我们做保守假设，后续公司海外业务拓展，增速和毛利率都假设有一定修复。

5.2 估值和投资建议

我们预测公司2024-2026年营业收入分别为27.98/33.82/38.36亿元，归母净利润分别为2.43/3.57/4.30亿元，以当前总股本2.73亿股计算的摊薄EPS为0.89/1.30/1.57元。

公司当前股价对2024-2026年预测EPS的PE倍数分别为56/38/32倍，我们选取同属“电子专用设备”长江证券行业分类，且具备wind一致预期且业务与泛半导体相关的公司作为可比公司，考虑到公司作为显示和半导体前道的检测设备领军企业，在半导体先进制程的检测设备进展具备长期成长性，首次覆盖给予“增持”评级。

1. 半导体检测设备研发及推广不及预期的风险；

2. 面板行业周期性波动及客户较为集中的风险；

3. 新能源行业扩产不及预期及海外拓展进度不及预期的风险；

4. 行业竞争加剧及关键技术和人才流失风险；

5. 研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。

本报告摘自华安证券2024年9月26日已发布的《【华安证券·通用设备】精测电子（300567）：检测设备领军企业，半导体前后道量检测设备持续突破》，具体分析内容请详见报告。若因对报告的摘编等产生歧义，应以报告发布当日的完整内容为准。