江丰电子申请一种靶材表面的加工方法专利，降低了靶材发生反溅射物质剥落的风险

本文源自:金融界

金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种靶材表面的加工方法”的专利，公开号CN120138571A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本发明涉及一种靶材表面的加工方法，所述加工方法包括如下步骤：将靶材表面的条形溅射区划分为第一滚花区、第二滚花区以及非滚花区，所述第一滚花区为条形溅射区的边缘区域，第二滚花区为条形溅射区中心沿长边方向设置的条形区域，非滚花区为位于第二滚花区两侧的对称异形区域，第二滚花区与非滚花区组合呈胶囊状；然后对第一滚花区与第二滚花区分别进行滚花处理，完成对靶材表面的加工。本发明对原有靶材表面形貌进行花纹设计，有效增加了靶材表面粗糙度，使其表面具有吸附较厚的反溅射物质的能力，降低了靶材发生反溅射物质剥落的风险。

天眼查资料显示，宁波江丰电子材料股份有限公司，成立于2005年，位于宁波市，是一家以从事金属制品业为主的企业。企业注册资本26532.0683万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波江丰电子材料股份有限公司共对外投资了49家企业，参与招投标项目67次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息1807条，此外企业还拥有行政许可15个。