江丰电子申请铝靶材和铜背板靶材组件中反溅射面的表面处理方法专利，避免反溅射物的脱落

本文源自:金融界

金融界2025年6月20日消息，国家知识产权局信息显示，合肥江丰电子材料有限公司;宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种铝靶材和铜背板靶材组件中反溅射面的表面处理方法”的专利，公开号 CN120174316A，申请日期为 2025年03月。

专利摘要显示，本发明涉及一种铝靶材和铜背板靶材组件中反溅射面的表面处理方法，具体涉及靶材技术领域，所述表面处理方法包括：对反溅射面依次进行喷砂处理、硅烷偶联剂处理和等离子体处理；所述硅烷偶联剂处理包括：对喷砂处理后的反溅射面采用硅烷偶联剂进行处理；所述硅烷偶联剂包括：质量比为1:(25)的甲基三乙氧基硅烷和γ甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷。本发明提供的表面处理方法，通过对靶材组件中的反溅射面进行特定处理，使得溅射过程中产生的反溅射物能够和反溅射面能够有效结合，从而避免反溅射物的脱落，保证溅射过程的稳定性。

天眼查资料显示，合肥江丰电子材料有限公司，成立于2015年，位于合肥市，是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥江丰电子材料有限公司参与招投标项目1次，专利信息115条，此外企业还拥有行政许可6个。

宁波江丰电子材料股份有限公司，成立于2005年，位于宁波市，是一家以从事金属制品业为主的企业。企业注册资本26532.0683万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波江丰电子材料股份有限公司共对外投资了49家企业，参与招投标项目67次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息1808条，此外企业还拥有行政许可15个。