深圳市捷佳伟创新能源装备取得真空镀膜机专利，能检测并处理真空镀膜机中等离子体的相关数据

本文源自:金融界

金融界 2025 年 4 月 28 日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司取得一项名为“真空镀膜机”的专利，授权公告号 CN222795713U，申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括：镀膜室、等离子体发生组件、至少两组光检测探头、光谱仪和控制器。镀膜室设有待镀膜位和沿第一方向的镀膜输送线，镀膜输送线经过待镀膜位，以输送基片经过待镀膜位，并镀膜至基片的表面；等离子体发生组件连通于镀膜室，设有沿第二方向朝向于待镀膜位的等离子体流道，等离子体流道于待镀膜位形成沿第三方向的镀膜区；沿第三方向间隔分布的至少两组光检测探头，光检测探头用于检测等离子体流道内的等离子体发出的混合辉光；光谱仪光连接于光检测探头，用于根据混合辉光获得光谱数据；控制器电连接于光谱仪，用于接收并处理光谱数据，并得到等离子体组成比例。

天眼查资料显示，深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，成立于2007年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本34817.5136万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目85次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息477条，此外企业还拥有行政许可69个。