力合科技：目前公司在半导体AMC监测方面，有针对颗粒物及颗粒物成分、无机气体、挥发性有机气体全套监测方案
证券日报网讯 3月18日，力合科技在互动平台回答投资者提问时表示，目前公司在半导体AMC监测方面，有针对颗粒物及颗粒物成分、无机气体、挥发性有机气体全套监测方案，监测原理暂未使用到化学电离飞行时间质谱法。
（编辑 姚尧）
证券日报网讯 3月18日，力合科技在互动平台回答投资者提问时表示，目前公司在半导体AMC监测方面，有针对颗粒物及颗粒物成分、无机气体、挥发性有机气体全套监测方案，监测原理暂未使用到化学电离飞行时间质谱法。
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