英杰电气：公司研发的射频电源应用范围广泛

证券日报网讯 英杰电气4月14日在互动平台回答投资者提问时表示，公司所研发的射频电源应用范围广泛，在半导体领域，主要用于刻蚀、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等关键工艺环节。公司一直致力于拓展半导体射频电源业务范围，不断加强与行业内众多客户的合作深度与广度，除中微公司外，公司也与国内其他头部半导体企业建立了多年合作关系，并在部分型号上形成了批量订单。目前公司半导体行业的客户数量处于增长状态。

（编辑 袁冠琳）