富乐德长江半导体申请晶圆再生化学机械抛光工艺优化方法专利，极大改善再生晶圆表面颗粒状况

本文源自:金融界

金融界2025年6月20日消息，国家知识产权局信息显示，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请一项名为“一种晶圆再生化学机械抛光工艺的优化方法”的专利，公开号CN120184010A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆再生化学机械抛光工艺的优化方法，包括步骤湿蚀刻预处理、多级CMP抛光、动态参数调整和抛光液控制；本申请结构合理，通过CMP参数调整，极大的改善了再生晶圆表面颗粒状况.同时，因60nm和90nm研磨液成本不一:60nm研磨液成本极高。缩短60nm的研磨时间对成本改善起到促进作用。本申请对硅片表面的粗糙度改善程度:由0.2nm降低至0.1nm以内。

天眼查资料显示，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，成立于2019年，位于铜陵市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本123009.7159万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息16条，专利信息136条，此外企业还拥有行政许可33个。