智立方取得一种用于晶圆载台顶升晶圆的装置专利，可稳定实现晶圆的顶升和下降

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金融界2024年1月29日消息，据国家知识产权局公告，深圳市智立方自动化设备股份有限公司取得一项名为“一种用于晶圆载台顶升晶圆的装置“，授权公告号CN220389354U，申请日期为2023年7月。

专利摘要显示，本实用新型涉及晶圆检测辅助技术领域，具体为一种用于晶圆载台顶升晶圆的装置，包括安装台，所述安装台的顶部设置有中空电机，所述安装台的一侧设置有电机安装板，升降电机通过螺栓安装在所述电机安装板上，所述升降电机的驱动端设置有动力块，L型块通过连接板设置于动力块上，所述L型块的一端设置有连接立柱。该用于晶圆载台顶升晶圆的装置，可配套晶圆载台使用，可以稳定实现晶圆的顶升和下降，满足自动化取放晶圆的条件，并且不损坏晶圆产品，不需要增加额外的辅助机构进行取放料，提高了取放料效率，同时该装置结构简单，成本较低，体积较小，增加晶圆设备的空间利用效率，可适用于大多数的晶圆设备。