股民提问波长光电：公司半导体光刻机光源系统是否可满足相关技术要求？

9月15日，有投资者在股民留言板中向波长光电（301421）提问：董秘你好，之前互动你提到公司成功开发的半导体光刻机光源系统可用于国产光刻机配套领域并已交付。最近清华大学的EUV光刻机方案备受关注，尤其是方案中的光源系统最为核心，公司是否有关注该方案？公司目前已交付的半导体光刻机光源系统原理是否相近？可以满足相关技术要求？

9月15日，有投资者在股民留言板中向波长光电（301421）提问：董秘你好，之前互动你提到公司成功开发的半导体光刻机光源系统可用于国产光刻机配套领域并已交付。最近清华大学的EUV光刻机方案备受关注，尤其是方案中的光源系统最为核心，公司是否有关注该方案？公司目前已交付的半导体光刻机光源系统原理是否相近？可以满足相关技术要求？

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