南京波长光电申请大数值孔径混波直写光刻镜头专利，兼具紫外宽光谱等优势

本文源自:金融界

金融界 2025 年 5 月 13 日消息，国家知识产权局信息显示，南京波长光电科技股份有限公司申请一项名为“一种大数值孔径混波直写光刻镜头”的专利，公开号 CN119960271A，申请日期为 2025 年 4 月。

专利摘要显示，本发明涉及一种大数值孔径混波直写光刻镜头，所述镜头包括第一透镜群组、第二透镜群组、光阑、第三透镜群组和第四透镜群组，从物方侧至像方侧方向上，第一透镜群组、第二透镜群组、光阑、第三透镜群组和第四透镜群组沿光的轴线方向依次排布；采用平面玻璃和 14 个透镜组成，兼具紫外宽光谱、物方数值孔径较大、整体色差较小等优势。

天眼查资料显示，南京波长光电科技股份有限公司，成立于2008年，位于南京市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本11571.8万人民币。通过天眼查大数据分析，南京波长光电科技股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目34次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息206条，此外企业还拥有行政许可72个。