珂玛科技(301611.SZ)：超高纯碳化硅套件主要应用于半导体氧化扩散设备中

格隆汇11月21日丨珂玛科技(301611.SZ)于投资者互动平台表示，公司将继续在陶瓷加热器、静电卡盘、超高纯碳化硅套件等模块类产品深入布局发展，同时公司多材料和多应用领域将奠定未来长期稳定增长的基础。超高纯碳化硅套件主要应用于半导体氧化扩散设备中，是半导体设备零部件国产替代重要产品之一，目前公司已有产品通过客户验证并取得订单，多项验证工作有序推进中。