珂玛科技：超高纯碳化硅套件通过北方华创及Fab端验证

证券之星消息，珂玛科技(301611)10月14日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：董秘您好！公司用于刻蚀设备的超高纯碳化硅套件订单增长显著，2025 年上半年订单达 1.4 亿元且占半导体领域订单 80% 以上。已知该套件为北方华创定制且部分部件通过验证，请问目前除北方华创外，还供应哪些设备商企业？是否新增已通过验证或达成合作的头部客户？珂玛科技董秘：尊敬的投资者您好！截至目前，公司超高纯碳化硅套件已小批量出货，6英寸非渗硅套件通过北方华创及Fab端验证并取得多套批量订单，8英寸非渗硅套件通过北方华创验证，正在Fab端推广，12英寸渗硅套件部分部件，例如Cap、隔热片等已通过北方华创验证，其他部件例如晶舟等尚在验证中。未来随着安徽工厂的持续建设，公司将继续拓展超高纯碳化硅套件客户群体。感谢您的关注！投资者：董秘您好！请问两大碳化硅基地进展：1安徽滁州基地计划 2025 年 Q3 投产，新增 1.1 万件 / 年碳化硅部件（60% 为非渗硅套件），目前是否按计划投产？非渗硅产能是否启动？6 英寸非渗硅套件是否持续供北方华创等客户？2.苏州新基地规划 2025 年末达 2 万件 / 年产能（重点 8/12 英寸产品），当前建设进度能否达标？8/12 英寸部件是否完成调试、启动客户送样？预计何时批量出货？珂玛科技董秘：尊敬的投资者您好！目前，公司安徽滁州碳化硅材料工厂建设正在按计划稳步推进，将主要用于生产超高纯碳化硅套件等“结构-功能”一体化模块产品；公司募投项目先进材料生产基地项目已达到正式投产条件，主要用于生产陶瓷加热器和静电卡盘等“结构-功能”一体化模块产品，将逐渐提升公司“结构-功能”一体化模块产品的产能。感谢您的关注！投资者：董秘您好！提问以下两个问题：1.公司收购苏州铠欣超高纯碳化硅套件中，8 英寸非渗硅套件是否已实现批量交付？12 英寸渗硅套件的验证进度（如核心部件是否全部通过客户测试）？2.苏州铠欣的 CVD 碳化硅涂层产品（刻蚀环、喷淋头、SiC 外延用石墨基座等）目前在 SiC/GaN 外延设备领域的规模化应用情况如何？是否新增设备厂商客户？珂玛科技董秘：尊敬的投资者您好！公司超高纯碳化硅套件已小批量出货，6英寸非渗硅套件通过北方华创及Fab端验证并取得多套批量订单，8英寸非渗硅套件通过北方华创验证，正在Fab端推广，12英寸渗硅套件部分部件，例如Cap、隔热片等已通过北方华创验证，其他部件例如晶舟等尚在验证中。截至目前，苏州铠欣产品已经在Si外延、SiC外延、GaN外延等领域实现规模化应用，碳化硅刻蚀环、碳化硅喷淋头、12吋Si外延用碳化硅涂层石墨基座等产品进展良好。感谢您的关注！投资者：董秘您好，英伟达 H100/B200 等大算力芯片需 SiC 碳化硅解决散热，苏州铠欣现有 CVD 碳化硅产品与这类封装用 SiC 技术路径是否关联？材料纯度、热导率能否支撑芯片级封装延伸？公司是否储备芯片级封装所需的高深宽比刻蚀等工艺？有无开发 Chiplet/CoWoS 用 SiC 散热部件？研发或测试进展如何？苏州铠欣是否将芯片级封装应用纳入重点方向？有无与下游封装厂商合作？珂玛科技董秘：尊敬的投资者您好！公司碳化硅产品暂不涉及相关业务，相关信息请以公司定期报告及相关临时公告为准。感谢您的关注，请您注意投资风险。

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