澳柯玛云联申请金属硅化物的制造方法专利，有利于降低总的退火热预算，节约成本

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国家知识产权局信息显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司申请一项名为“金属硅化物的制造方法”的专利，公开号CN121075912A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本发明提供一种金属硅化物的制造方法，将需要在含硅半导体层上形成的要求厚度的金属硅化物分摊到至少两轮金属硅化处理来形成，有利于降低总的退火热预算，节约成本。而且可以通过控制每轮金属硅化处理形成的金属硅化物的厚度和均匀性，同时利用前面轮次形成的金属硅化物对后一轮金属硅化处理的阻挡层作用，来保证后一轮形成的金属硅化物的性能，进而保证了最终在含硅半导体层上层叠形成的金属硅化物的整体均匀性、热稳定性和低电阻性能，有效改善金属硅化物的电阻均匀性和内部缺陷，满足更微型化的产品制造需求。

天眼查资料显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司，成立于2020年，位于青岛市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司共对外投资了5家企业，专利信息85条，此外企业还拥有行政许可4个。

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