万业企业：公司设备产品现已覆盖集成电路离子注入机、刻蚀等多款集成电路核心前道设备

万业企业近期接受投资者调研时称，公司的设备产品现已覆盖集成电路离子注入机、刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等多款集成电路核心前道设备以及尾气处理等支撑制程设备。同时，嘉芯半导体集成电路设备研发制造基地将以109亩土地14万方的新产能面积加速推动长三角一体化发展示范区核心设备基地的建设落成，进一步丰富公司“1+N”半导体设备产品平台矩阵。