万业企业旗下凯世通向战略新客户交付超低温离子注入机

转自：证券日报网

本报讯 （记者张文湘）12月18日，上海万业企业股份有限公司（以下简称“万业企业”）宣布，旗下上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”），成功向一家新签集成电路战略客户交付一台超低温离子注入机，这是继向该客户交付首台低能大束流设备一个月后的又一重大进展，标志着凯世通在集成电路重大装备国产化与产业化方面再迎新突破。

资料显示，离子注入机是芯片制造的关键装备，凯世通致力于为集成电路行业客户提供性能先进、稳定可靠的离子注入设备与技术解决方案。今年以来，凯世通持续发力，累计交付二十余台高端离子注入机，共计服务十一家12英寸晶圆厂客户产业化大生产。

万业企业介绍称，超低温离子注入工艺主要用于晶圆预非晶化处理，可有效减少晶体缺陷，降低漏电流，从而提升晶体管性能，具有极高的技术难度。凯世通基于自主创新攻克了超低温晶圆冷却及回温技术、颗粒污染控制技术，超低温注入工艺技术等一系列关键技术，研制出超低温低能大束流离子注入机，可实现零下100℃下的预非晶化离子注入，具备高可靠性、高均匀性等优势，满足了主流晶圆厂量产需求。

（编辑 张钰鹏）