芯生万象，聚势未来——芯源微上海临港厂区正式竣工投产

转自：中国证券网

上证报中国证券网讯 万物回春，繁花纷呈，正值春日好时节。3月19日，芯源微上海临港厂区竣工投产仪式暨新产品发布仪式在飞渡路厂区隆重举行。

上海芯源微董事长、沈阳芯源微副总裁崔晓微首先致辞，向上海芯源微一路走来给予重要支持的母公司、客户、新片区政府和建设单位深情致谢，并表示，上海芯源微将秉持匠心、潜心、精心，以高性能产品和服务为客户创造价值，为产业增添力量。

沈阳芯源微董事长、总裁宗润福上台致辞，他将上海芯源微比作“名校生”，从建设之始便重点培养、高举高打、开发国际一流水平的产品，同时表达了更高期许，要在未来三年实现产品、订单跨越式提升，沈阳芯源微将全力支持上海芯源微的高速发展。

中国集成电路产业开路人、现上海积塔执行董事张汝京博士莅临并致辞。张博士表示，从中芯国际、青岛芯恩到上海积塔，芯源响应客户的客制化要求，体现了专业精品、客户至上的精神，上海积塔和上海芯源微是亲密邻居，一定要紧密合作、共同发展。

临港新片区管委会副主任彭世权莅临现场并致辞。彭主任表示芯源微在临港的布局和发展是临港集成电路产业提升的重要一环，对上海芯源微成为全球半导体设备领先企业抱以信心，为上海芯源微顺利达产、实现高质量发展送上真挚祝福。

借此契机，上海芯源微同步发布自主研发的首款高端设备——KCE前道单片式化学清洗机。上海芯源微化学清洗部总监、化学清洗产品主设计师彭博先生上台进行了产品发布。

该款机型具有高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能、高智能化等优势，自研16 champer高产能架构，工艺覆盖率可以达到80%以上，并且适配高温SPM工艺。目前已为近十家客户进行了Wafer Demo测试，多项工艺水平达到业界领先水平。

继往开来，聚势启航。未来，上海芯源微将扎根临港，以高精尖技术研发为引领，以高性能的产品和服务为客户创造价值，与产业链上下游一起，为中国乃至世界半导体设备增添新的力量。（陈志强）