隆基绿能申请掩膜版的加工方法专利，激光划刻的精度更高，不会出现毛刺

转自：金融界

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金融界2024年3月11日消息，据国家知识产权局公告，隆基绿能科技股份有限公司申请一项名为“掩膜版的加工方法“，公开号CN117655550A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本发明公开一种掩膜版的加工方法，包括：提供至少一个原膜，将原膜固定于承载台上；利用激光在原膜上划刻出镂空区域，镂空区域内的待去除材料落至承载台上与镂空区域对应的接料槽内，形成掩膜版。利用激光在原膜上划刻出镂空区域，镂空区域的部分或全部材料成为待去除材料，利用激光划刻穿透原膜，以使待去除材料与周围的材料分离后，落至接料槽内，形成镂空孔，与现有技术中采用丝网印刷加工镂空图案相比，激光划刻的精度更高，不会出现毛刺；且烧蚀区域较小，产生的热效应较小，不会导致掩膜版变形，不会产生大量高分子烟尘，进而避免了高分子烟尘回落到掩膜版表面与电池片接触后会造成污染。