百傲化学子公司拟与高校、研究机构共同参与开发大世代干法刻蚀装备

来源：上海证券报·中国证券网

上证报中国证券网讯（记者 何昕怡）11月17日晚间，百傲化学公告称，公司控股子公司芯慧联下属公司佛山芯慧联拟与国内知名高校、研究机构等共同签订合作研发项目合同书，共同参与开发大世代干法刻蚀装备，佛山芯慧联作为牵头单位，拟投入自有资金2.19亿元。

百傲化学表示，本次合作研发项目旨在充分发挥公司研发团队在大世代刻蚀装备领域深厚的技术积累，并通过与高校及科研机构深度合作的方式，共同推动国产大世代刻蚀装备的产业化落地。

百傲化学表示，本次合作研发项目紧密契合公司半导体板块业务发展战略，将为公司持续输出多元化优质产品与服务提供坚实支撑，并通过深化技术协同创新，推动公司研发能力实现飞跃，显著提升公司自主创新能力和研发体系效能，进一步优化公司技术研发创新生态，为公司长期可持续发展注入强劲动能。