高高山顶立，深深海底行：至纯科技二十五载锚定“至纯”初心，以创新与坚守铸就产业“筑基者”
2025年11月，上海至纯洁净系统科技股份有限公司(股票代码：603690.SH，以下简称“至纯科技”)迎来了创立二十五周年的重要里程碑。从2000年初创时专注于高纯工艺系统业务，到今天成长为国内半导体高端装备与材料领域的领跑者，至纯科技的成长脉络与中国半导体产业的变革轨迹深度交融。它既是中国半导体产业从进口依赖中奋力突围的见证者，更是推动产业迈向自主可控新阶段的重要参与者。
回溯至纯科技的发展历程，每一步都镌刻着“执着”与“突破”的印记。二十五年前，中国半导体产业面临着外资垄断核心技术、设备依赖进口、产业链安全风险高企的多重挑战。至纯科技的创业者们深知，只有把技术做到极致，才能在市场中站稳脚跟。他们一头扎进实验室，反复打磨产品性能，在纯度控制、工艺优化等方面不断突破。凭借着对“至纯”二字的坚守，逐步将产品做到国内领先水平，成为中国芯片制造领域不可或缺的“基础保障”。
早期的至纯科技年度订单仅300万元，公司从高纯工艺系统这一细分领域切入，通过聚焦光伏、LED等泛半导体领域，在2010年实现收入过亿。随着中国半导体产业进入快速发展期，对核心工艺设备的需求日益迫切，至纯科技做出关键决定，将战略目光投向技术壁垒更高的湿法设备领域，从成熟制程切入，逐步向先进制程渗透，这是一次关键的战略跃迁。从决心踏入，到啃下硬骨头，实现对28纳米工艺的全覆盖，再到如今集中精锐力量向7纳米及更先进节点发起攻坚，至纯科技一次次技术突破印证了其坚定实干的产业抱负。其推出的S300系列湿法设备平台，不仅在28纳米节点完成全工艺机台开发并获取订单，更在高温硫酸、单片磷酸等曾被国际厂商垄断的工艺上实现了国产替代的重要突破，单机累计产量已超百万片次，成为本土湿法设备领域的一张名片。
业务的拓展并非盲目扩张，而是围绕核心能力进行的全生命周期布局。如今，至纯科技已构建起以“高纯工艺系统”和“湿法设备”为大树主体，以“电子气体”和“关键零部件”为坚实根系，并逐步将枝叶延伸至“生物医药装备”和“光传感”等新兴领域的业务生态。其高纯工艺系统在国内主流12寸晶圆厂的特气系统招标中占据近半壁江山，化学品设备系统市占率也超过30%。公司已为中芯国际、华虹公司、上海华力、长江存储、长鑫科技、燕东微、士兰微、润鹏半导体以及H系等提供从系统、设备到材料、服务的整体解决方案，这种深度绑定的模式不仅提升了客户粘性，也为公司积累了大量产业前沿的实践经验，为后续技术创新与新业务拓展提供了坚实的支撑。
至纯科技业务版图的扩张离不开二十余年对研发创新的持续投入。截至2025年三季度，公司累计申请专利865件，研发投入占营业收入比例长期保持在较高水平。上市以来累计研发投入超过18亿元，从上市前仅50余项专利增长至如今的庞大知识产权体系，展示出公司将技术创新视为生命线的决心。这种投入不仅体现在产品迭代上，更深入到供应链的安全与可控。面对国际形势变化带来的供应链风险，公司未雨绸缪，经过四年多的努力，基本实现了核心供应链的在地化建设，为业务的连续性提供了坚实保障。
在半导体与高端装备制造领域，企业的市场竞争力不仅体现在技术突破的硬实力上，更需依托扎实的财务表现来印证发展韧性。作为深耕行业二十五载的“中国智造”代表，至纯科技近年来的财务表现清晰印证了其发展的稳健底色与强劲潜力。2025年以来，尽管受高强度研发与产能建设投入的短期影响，但公司核心经营指标仍展现出亮眼韧性。公司营业收入持续保持正向增长，彰显市场对其核心解决方案的高度认可;上半年新增订单17亿，在手订单超130亿，为未来业绩增长筑牢坚实基础。公司已主动将优化经营性现金流与应收账款精细化管理提上日程，在追求长期增长的同时，审慎把控短期经营质量，在规模扩张中兼顾盈利性与流动性。
站在二十五周年的新起点，至纯科技董事长蒋渊向全体员工提出了“高高山顶立，深深海底行”的实践哲学。公司既要有参与国际竞争的雄心，敢于在技术无人区先行探索;又要沉心静气，在每一个分子级的纯度控制、每一个纳米级的工艺效率上做到极致。至纯科技从“至纯”的初心，走到今天的“至纯科技”，从关键设备受制于人，到核心技术逐步突围，至纯科技的每一次跨越，都成为产业自主可控之路的鲜明注脚。公司确立的“LAB2FAB”战略宗旨，即坚持从实验室技术到产业化应用的转化路径，做“价值创造的实践者、可持续发展的实践者、长期主义的实践者”。这“三个实践者”的理念，指引着至纯科技在波澜壮阔的产业浪潮中始终聚焦主业，攻坚克难。
二十五载风雨兼程，至纯科技不再仅仅是一家设备或系统供应商，而是中国半导体产业生态中一位深入肌理的“筑基者”。它的故事，是关于坚持、关于创新、关于在漫长时间里坚守长期主义的故事。前方，半导体产业的壮阔航程依然充满挑战，但怀揣“高高山顶立”的雄心，践行“深深海底行”的执着，至纯科技正以其智慧、勇气和汗水，迎接未来的所有可能，致力于与中国半导体产业共同走向一个更加璀璨的未来。