无锡新洁能申请超结功率器件外延层制造方法专利，使得P型柱的宽度不再受到填充困难的限制

本文源自:金融界

金融界2025年6月21日消息，国家知识产权局信息显示，无锡新洁能股份有限公司申请一项名为“一种超结功率器件的外延层的制造方法”的专利，公开号CN120184003A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本发明涉及一种超结功率器件的外延层的制造方法。本发明包括提供高掺杂浓度的第一导电类型衬底，在所述第一导电类型衬底的一侧生长低掺杂浓度的第一导电类型半导体，形成第一导电类型外延层；生长第二导电类型半导体，形成第二导电类型外延层；在所述晶圆的正面形成阻挡层，接着选择性刻蚀所述阻挡层，然后刻蚀并穿透第二导电类型外延层，形成多个梯形沟槽，最后去除阻挡层，得到第二导电类型柱；在所述晶圆的正面生长第一导电类型半导体，并填充满所述梯形沟槽，所述梯形沟槽内的第一导电类型半导体构成所述超结功率器件的第一导电类型柱。本发明使得P型柱的宽度不再受到填充困难的限制，且与现有工艺兼容，制造方法简单。

天眼查资料显示，无锡新洁能股份有限公司，成立于2013年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本41533.2567万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡新洁能股份有限公司共对外投资了18家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息276条，此外企业还拥有行政许可46个。