天准科技：苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户试用

天准科技9月18日在互动平台表示，目前，天准科技参股的苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户试用，28nm节点检测设备正在研发中。