天准科技：半导体检测设备新突破 40nm

【天准科技参股公司矽行半导体在国产半导体高端检测设备领域取得新突破】

从天准科技(688003)获悉，其参股的矽行半导体公司面向 40nm 技术节点的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备 TB1500 已完成厂内验证。这是继去年 8 月交付特定设备后，天准科技的又一阶段性新进展。缺陷检测设备在芯片生产流程中至关重要，随着工艺制程演进，其重要性不断提升。矽行半导体成立于 2021 年 11 月，专注相关研发、生产和销售，逐步打破外商垄断。TB1500 核心关键部件自主可控，采用先进算法，提升光源亮度等以满足工艺需求。天准科技全资子公司 MueTec 相关设备表现优异，提升多项能力。天准科技通过多种途径强化在半导体检测设备领域布局，矽行半导体面向 28nm 技术节点的 TB2000 设备进展顺利，计划于 2024 年年底发布样机。