天准科技申请高速宽光谱套刻对准检测设备专利，提高整体稳定性

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国家知识产权局信息显示，苏州天准科技股份有限公司申请一项名为“一种高速宽光谱套刻对准检测设备”的专利，公开号CN121028470A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本发明提供了一种高速宽光谱套刻对准检测设备，属于半导体套刻对准量检测技术，设备包括机台、移动载台、测量架、Z轴驱动模块、光源转接器、检测光学采集模块和对准模块。本申请通过将光源转接器、检测光学采集模块和对准模块集成在Z轴驱动模块上，相较于传统的升降机构设置在于机台上，提高了整体稳定性；通过在检测光学采集模块上集成设置对准模块进行预对准，相较于传统的手轮调整提高了效率；载盘上开设晶圆叉槽，相较于传统的晶圆顶升杆，提高了晶圆片的更换效率；本设备便于在半导体套刻对准、CD、缺陷等纳米级量检测场景推广应用。

天眼查资料显示，苏州天准科技股份有限公司，成立于2009年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19432.05万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州天准科技股份有限公司共对外投资了15家企业，参与招投标项目70次，财产线索方面有商标信息77条，专利信息834条，此外企业还拥有行政许可28个。

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