5月9日消息，中微公司宣布推出自主研发12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex CW，在保证较低的生产成本和化学品消耗的同时，实现更高的生产效率，预计新产品将有助于公司业务多元化增长。