中微公司2月28日公告，公司2023年营业收入约62.64亿元，同比增长约32.15%；归属于母公司所有者的净利润约17.86亿元，较上年同期增加52.67%；基本每股收益2.89元。2023年公司出售了部分持有的拓荆科技股份有限公司股票，产生税后净收益约4.06亿元。
公司2023年新增订单金额约83.6亿元，较2022年新增订单的63.2亿元增加约20.4亿元，同比增长约32.3%。其中刻蚀设备新增订单约69.5亿元，同比增长约60.1%；由于中微的MOCVD设备已经在蓝绿光LED生产线上占据绝对领先的市占率，受终端市场波动影响，2023年订单同比下降约72.2%。