拓荆科技：聚焦现有主业 两款混合键合设备已出货至客户端进行验证

拓荆科技(688072)7月25日披露投资者关系活动记录表显示，5月1日至6月30日，该公司以现场会议、电话会议的形式，接受了包括光大证券、东方基金、中信建投等200余家机构投资者的调研。

“公司将继续聚焦现有主营业务，在高端半导体薄膜设备领域持续深耕，围绕CVD领域的产品和技术做深做精，不断拓展产品、工艺的覆盖面。”拓荆科技在接受机构调研时表示。

拓荆科技是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD、SACVD、HDPCVD设备厂商，也是国内领先的ALD设备厂商。PECVD设备是拓荆科技的核心产品，该公司自成立就开始研制PECVD设备，在PECVD设备技术领域具有十余年的研发和产业化经验，并形成了覆盖全系列PECVD薄膜材料的设备，已在集成电路领域广泛应用。拓荆科技研制的ALD设备系列产品包括PE-ALD设备和Thermal-ALD设备，PE-ALD设备已实现量产，Thermal-ALD设备已出货至不同客户端进行验证。同时，拓荆科技持续拓展ALD设备薄膜种类及工艺应用；SACVD和HDPCVD设备均已实现产业化，正在持续提升量产应用规模。

“公司2022年在手订单和新签订单均为PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD等薄膜系列产品的销售订单（非Demo订单），其中PECVD设备销售订单占比相对较高，这些订单主要来自中国大陆下游晶圆厂的扩产。”据拓荆科技方面介绍。

据了解，截至2022年12月31日，拓荆科技在手销售订单金额为46亿元（不含Demo订单），2022年签订销售订单金额为43亿元（不含Demo订单）。

拓荆科技表示，半导体设备的行业具有技术壁垒高、研发投入高、技术更新迭代快等特点。公司已在半导体薄膜设备领域深耕十余年，不仅掌握了PECVD、ALD等薄膜设备的相关核心技术，并在设备产品从研发推向产业化过程中积累了丰富的经验，公司薄膜沉积设备导入集成电路领域市场并实现产业化的时间较早，目前已经形成了研发团队、技术储备、客户资源及售后服务等方面的优势。未来公司将不断提升产品性能，保持产品核心竞争力，进一步提升市场占有率。

“公司目前研制了两款混合键合设备，圆对晶圆键合产品（Dione300）和芯片对晶圆键合表面预处理产品（Pollux），这两款设备均已出货至客户端进行验证。”拓荆科技介绍，公司将结合行业技术发展及下游晶圆厂的需求，持续提升产品的性能，不断扩大市场应用规模，同时，保持较高水平的研发投入，积极推进新产品或新工艺的研发和验证进度，使产品快速推向市场，为公司未来市场拓展带来新的增长点。