拓荆科技获得发明专利授权：“晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法”，专利申请号为CN202010559923.6，授权日为2025年5月23日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法，其中，所述晶圆防偏承载装置包括：承载板和多个卡钩，所述卡钩通过转轴与承载板连接且沿承载板的周向均匀布设，所述卡钩包括一长边和一短边，所述长边的内侧设置有限位凸起，自然状态下，卡钩处于张开状态，当将晶圆加载到承载板时，晶圆压迫短边，使卡钩旋转，直至长边上的限位凸起与晶圆的侧端面相抵后使晶圆处于约束态，此时，卡钩处于夹紧状态且卡钩的短边的自由端仍高于承载板的上表面，以支撑晶圆。该晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法可有效防止晶圆在传输过程中发生偏移，产生颗粒少且不易聚集，可保证产品质量，应对晶圆变形的适应性好，可适应一定尺寸范围内的晶圆。

今年以来拓荆科技新获得专利授权16个，较去年同期增加了166.67%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.56亿元，同比增31.26%。

数据来源：天眼查APP

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