拓荆科技获得发明专利授权：“一种压力控制装置和压力控制方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种压力控制装置和压力控制方法”，专利申请号为CN202211130244.2，授权日为2025年10月3日。

专利摘要：本发明公开了一种压力控制装置和方法。压力控制装置包括平衡阀，连通预载室以向预载室加压，其中预载室的第一端连接外部环境，而其第二端连接真空腔室，机械排气模块，连通预载室及外部环境，其中机械排气模块的触发气压为目标气压，目标气压大于外部环境气压，其中，压力控制装置被配置为：获取开启预载室的开启请求；根据开启请求开启平衡阀，以向预载室加压；监测机械排气模块是否被触发；响应于机械排气模块被触发的监测结果，关闭平衡阀；以及将预载室连通外部环境，以开放获取晶圆的入口。本发明不仅能避免在将晶圆送入预载室过程中外部尘粒进入预载室，影响半导体成品效果，而且还能取消对测压计的需求，从而降低装置成本并简化控制逻辑。

今年以来拓荆科技新获得专利授权53个，较去年同期增加了112%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.01亿元，同比减4.33%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息714条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可32个。

数据来源：天眼查APP

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