盛美上海公布国际专利申请：“原子层沉积方法、炉管设备及其抽真空方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示盛美上海（688082）公布了一项国际专利申请，专利名为“原子层沉积方法、炉管设备及其抽真空方法”，专利申请号为PCT/CN2025/082051，国际公布日为2025年10月16日。

专利详情如下：

图片来源：世界知识产权组织（WIPO）

今年以来盛美上海已公布的国际专利申请60个，较去年同期增加了300%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.16亿元，同比增20.17%。

数据来源：企查查

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