盛美上海：臭氧水与SPM并非简单的替代关系，而是面向不同应用场景的互补选择
证券日报网讯 7月30日，盛美上海在互动平台回答投资者提问时表示，臭氧水与SPM（硫酸工艺）并非简单的替代关系，而是面向不同应用场景的互补选择。臭氧水适用于轻量有机残留去除的场景，SPM则凭借高温强氧化能力，在高剂量注入后光刻胶去除、厚重碳化层剥离等极端工况中具有不可替代性。公司在两条技术路线上均有完善布局，将根据客户工艺节点、污染物类型及成本考量，匹配最优解决方案。
（编辑 王雪儿）
证券日报网讯 7月30日，盛美上海在互动平台回答投资者提问时表示，臭氧水与SPM（硫酸工艺）并非简单的替代关系，而是面向不同应用场景的互补选择。臭氧水适用于轻量有机残留去除的场景，SPM则凭借高温强氧化能力，在高剂量注入后光刻胶去除、厚重碳化层剥离等极端工况中具有不可替代性。公司在两条技术路线上均有完善布局，将根据客户工艺节点、污染物类型及成本考量，匹配最优解决方案。
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