华海清科：与清华大学共同完成项目荣获国家技术发明奖一等奖
证券日报网讯 6月24日晚间，华海清科发布公告称，近日，公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖，公司董事长、首席科学家路新春先生作为项目第一完成人获得2023年度国家技术发明奖一等奖证书。
（编辑 张昕）
证券日报网讯 6月24日晚间，华海清科发布公告称，近日，公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖，公司董事长、首席科学家路新春先生作为项目第一完成人获得2023年度国家技术发明奖一等奖证书。
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