华海清科荣获2023年度国家技术发明奖一等奖 科研硬实力持续取得突破

转自：上海证券报·中国证券网

日前，华海清科公告称，公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖，董事长、首席科学家路新春作为项目第一完成人获得2023年度国家技术发明奖一等奖证书。