华海清科获得发明专利授权:“一种基板磨削方法”
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种基板磨削方法”,专利申请号为CN202211684451.2,授权日为2025年4月22日。
专利摘要:本发明公开了一种基板磨削方法,其包括:实时检测磨削基板受到的磨削力;计算磨削力引起的磨削工作台的倾斜角度变化;根据基板的已加工面形和目标面形,确定磨削工作台的倾斜角度调整方案,以补偿磨削力引起的倾斜角度变化。
今年以来华海清科新获得专利授权31个,较去年同期增加了138.46%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元,同比增23.19%。
数据来源:天眼查APP
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