华海清科申请一种晶圆旋转机构和晶圆处理装置专利，该机构包括主动轮组件和从动轮组件

本文源自:金融界

金融界2025年5月27日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种晶圆旋转机构和晶圆处理装置”的专利，公开号CN120048767A，申请日期为2022年07月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆旋转机构和晶圆处理装置，该机构包括主动轮组件和从动轮组件；所述主动轮组件包括前压盖、后压盖和驱动轮，所述前压盖和后压盖配合将驱动轮夹紧在二者之间，所述驱动轮的侧边缘具有环形卡槽，所述环形卡槽用于抵接晶圆并带动晶圆旋转，所述环形卡槽由弹性材料制成，所述环形卡槽包括两个相对的用于限位晶圆的侧壁，所述侧壁的内侧具有倾斜的引导面。

天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目223次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息684条，此外企业还拥有行政许可30个。